第七章 EM理论与实践(二)《IR Drop 与 EM 的理论与实践》连载
代工厂通常指定在不同条件下可以流过导线的最大电流量。这些EM Limits取决于几个设计参数,例如线拓扑、宽度和金属密度,先进工艺下影响EM Limits的因素更多,比如Color Metal、VIA-VIA Spacing、Metal Line Number等。EM 退化和 EM 极限取决于互连工作的温度、导线和通孔的材料特性、导线中的电流方向以及驱动器的导线长度 【1】。
对于主要输出的每一个Net,分析是从Stdcell的Driver Pin到Stdcell的所有Receiver Pin执行的。对Net的每个Metal/Via Segment进行分析【5】。
Foundry提供的Design Rule文档Reliability Rules章节会有相关金属EM Limit介绍。通过文档可以看出:
1. AVG Current Limit和Net的长度L、宽度W有关;
2. RMS Current Limit与Net的长度L、宽度W、ΔT有关;
3. PEAK Current Limit与Net的宽度、Peak电流的持续时间、Peak信号的占空比有关,Ipeak Limit计算公式如下
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TD表示信号持续时间,r为信号占空比(等于脉冲持续时间除以周期),Ipeak_DC由Design Rule文档提供。
6.1.4.1 工具算Iavg的相关方法如下【6】1.对于一个信号Net,由于流过的电流是双向电流(充电和放电过程),平均电流的结果非常接近于0;
2.Redhawk默认报告中的电流是绝对(整流)值:Iavg = c*v*f*tr
3.“SEM_RECOVERY_FACTOR <R>”关键字可以用来考虑反向电流的恢复(假设充放电电流相等):
Iavg = c*v*f*tr*(1-R)/2
对于同一个Signal Net,R设为不同的值对应的DC EM值如下图:
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小蔡说:
1.恢复系数R是分配给放电的充电电流的分数,可以设置为0.0到1.0之间的值。建议设为0.5。
6.1.4.2 中Delta T的物理意义Irms规则与金属线的热量或焦耳热有关。ΔT是当电流通过金属线时温度的升高。通过金属线的电流越多,产生的热量就越多,这会导致金属线温度升高。因此,Irms是ΔT的函数,显然如果ΔT=0,Irms为0,没有电流就意味着没有热量。如果ΔT增加得太多,热量将引导到相邻线路上温度升高。从图7-4可知:
1.其他条件设置相同,一个ΔT为5,一个为10,结果如下:对于同一根Net,流过Net的电流没变,但是Constraint(Limit)改变了,导致EM的Violation数值不一样。ΔT设为5(上面结果)比ΔT设为10更悲观;
2.从下面的结果看,ΔT的变化改变了Metal的过流能力的极限,仔细看的话,ΔT为10的Current Limit是5的根号2倍(将近1.414)。原因是Metal的过流能力和ΔT开根号成正比;
3. ΔT的物理意义可以理解为:焦耳热引起的温度上升达到设定值,工具就认为Metal Net出现违例。设置的越小,更容易出现违例。
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如图7-5,对于同一个Net,不同类型的电流的EM值不一样,一般RMS最悲观,对于PEAK,虽然流过金属Net的电流大,但是PEAK电流的Limit也很大,所以PEAK电流的EM值不一定是最差的。
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6.1.5 EM违例的判断标准一种常见的 EM 检查是测量流过电线的平均电流或直流电流,并将其与代工厂指定的极限电流进行比较。设计中导线中平均或直流电流的影响通常使用布莱克方程进行量化(如下公式),该方程用于测量和比较具有不同参数(例如平均电流密度、温度、和活化能)的互连的估计平均故障时间 。
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MTTF:Median Time to Failure 平均失效时间
A:和导体图像相关的常数
J:电流密度
N:考虑了除了焦耳热电流流向的影响的电流密度相关参数
Ea:激活能
K:玻尔兹曼常数
T:开尔文温度
另一种常见的检查是测量峰值和 RMS流过互连的电流,并根据代工厂指定的目标检查它们。此检查是为了确保不会因互联线中的焦耳或自热而发生金属失效【1】。
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